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收藏 分享 发布时间:2023-02-02 00:00:00 地区:上海
基本信息 | |||
项目编号 | 0773-2241SHHW0172/04 | 项目名称 | 上海交通大学半自动涂胶显影一体机 |
采购单位 | 上海******* | 采购联系人 | 86-2******** |
联系地址 | 上海市闵行区东川路800号 | 采购电话 | 86-2******** |
项目信息 | |||
项目联系人 | 联系电话 |
1.上海交通大学半自动涂胶显影一体机中标结果公告(1)
2.上海交通大学半自动涂胶显影一体机评标结果公示公告(2)
3.上海交通大学半自动涂胶显影一体机评标结果公示公告(1)
4.上海交通大学半自动涂胶显影一体机国际招标公告(1)
5.上海交通大学半自动涂胶显影一体机国际招标公告(1)
中金招标有限责任公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2023-02-02在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。1、招标条件项目概况:上海交通大学拟采购1套半自动涂胶显影一体机,该设备主要用于光刻工艺过程中的基底增粘,匀胶、烘烤和显影工艺。匀胶工艺是微电子器件及集成光学器件关键工艺,研究人员先通过匀胶工艺将增粘后的芯片表面涂覆上厚度均匀的光刻胶,匀胶后的芯片需要进行前烘,避免光刻工艺时粘胶;显影工艺后,需要后烘,增强胶的抗蚀能力。同时匀胶机集成去边,背洗等功能,涂好光刻胶的芯片,经过光刻工艺和显影工艺,就可在芯片表面形成所需要的光刻胶图形
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