原子层沉积系统

收藏分享发布时间：2024-01-16 00:00:00 地区：四川

项目摘要项目正文

基本信息
项目编号	*********	项目名称	原子层沉积系统
采购单位	中物*******	采购联系人	*-******
联系地址	成都市双流区银河路***号	采购电话	*-******

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采购邀请*. 采购条件本项目原子层沉积系统（项目名称）采购人为中物院成都科学技术发展中心，项目资金来自财政资金（资金来源），出资比例为***%。该项目已具备采购条件，委托中招国际招标有限公司对本项目采用谈判方式进行采购，现邀请各潜在供应商参加。*. 项目概况*.* 项目名称：原子层沉积系统*.* 项目编号：**********.* 采购要求：原子层沉积系统一套（包含真空反应模块、前驱体源、真空、控制、臭氧等系统配件）。真空反应腔体系统：*、真空腔室采用***不锈钢材料，腔壁带水冷；*、能够满足不小于*英寸样品上镀膜，可镀样品高度不低于***；*、样品台温度室温至*****可控；*、前驱体通过喷

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