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收藏 分享 发布时间:2024-02-01 00:00:00 地区:上海
基本信息 | |||
项目编号 | 310000000231215146349-00056157 | 项目名称 | 电子束光刻机 |
采购单位 | 上海******* | 采购联系人 | 021-******** |
联系地址 | 上海市浦东新区中科路1号 | 采购电话 | 021-******** |
项目信息 | |||
项目联系人 | 朱** | 联系电话 | 86-2******** |
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项目概况电子束光刻机 招标项目的潜在投标人应在/获取招标文件,并于2024年02月22日 09:30(北京时间)前递交投标文件。一、项目基本情况项目编号:310000000231215146349-00056157项目名称:电子束光刻机预算编号: 0023-W00075930预算金额(元): 5100000(上海市财政资金)最高限价(元): 4743000采购需求:包名称:电子束光刻机数量:1预算金额(元):5100000简要规格描述或项目基本概况介绍、用途:*设备可实现高分辨电子束曝光,最小特征尺寸≤8 nm * 采用肖特基热场发射电子束源,加速电压不大于30 KV,最小可调节步进为10 V
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