东南大学微纳平台步进式光刻机采购项目招标公告（第二次）

收藏分享发布时间：2024-02-02 17:48:34 地区：江苏

项目摘要项目正文

基本信息
项目编号	0664-2360SUMEC751D（SEU-ZB-230697）	项目名称	东南大学微纳平台步进式光刻机采购项目
采购单位	东南*******	采购联系人	技术咨询********
联系地址	南京市玄武区四牌楼2号	采购电话	技术咨询********

项目信息
项目联系人	葛**	联系电话	025-********

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项目概况东南大学微纳平台步进式光刻机采购项目招标项目的潜在投标人应在微信公众号“苏美达达天下”获取招标文件，并于2024年02月28日 14点00分（北京时间）前递交投标文件。一、项目基本情况项目编号：0664-2360SUMEC751D（SEU-ZB-230697）项目名称：东南大学微纳平台步进式光刻机采购项目预算金额：3500.000000 万元（人民币）最高限价（如有）：3450.000000 万元（人民币）采购需求：微纳平台采购步进式光刻机系统一套，主要技术要求如下：1.样品台支持最大8寸晶圆，并向下兼容，可容纳的基片最大厚度：650um~750um。2.机台分辨率200nm，套刻

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